Kao što svi znamo, postoji samo jedan proizvođač na svijetu koji može proizvesti EUV litografiju, to je holandski ASML.
A razlog zašto je jedini na svijetu, to je zato što će ASML biti mnogo ključnih proizvođača spojenih zajedno, kao što je njemačka optička kompanija Zeiss (Zeiss), a zatim američki Cymer, a zatim njemačka Tom Fast Group (TRUMPF ) i tako dalje.
ASML je ove proizvođače vezao za svoju kočiju kroz ulaganja, akviziciju, dioničarstvo, osnivanje istraživačkih centara i tako dalje, a ovi proizvođači, vjerovatno jedini proizvođači na svijetu koji mogu proizvoditi ove proizvode, tako da je u konačnici samo ASML u mogućnosti da proizvodi EUV litografiju u svijetu.
Međutim, nedavno je ključni lanac nabavke ASML-a otrčao u Shenzhen u Kini kako bi izgradio tvornicu, a njegova podružnica u Shenzhenu smještena je u Baoan kinesko-njemačkom (Evropskom) industrijskom demonstracijskom parku.
Ovaj proizvođač je njemačka Tom Fast Group (TRUMPF), to je ASML-ova EUV litografija, jedini svjetski dobavljač laserskih izvora.
TRUMPF proizvodi u EUV litografiji, koliko su važni? Prvo, dozvolite mi da objasnim princip EUV litografije, razumjet ćete.
Princip EUV litografije, pojednostavljeno rečeno, usredsređen je na tri glavna sistema, EUV UV sistem izvora svetlosti, sistem objektiva i sistem stolova.
Specifičan proces je korištenje lasera za pobuđivanje 13,5 nm talasne dužine ekstremnog ultraljubičastog svjetla, a zatim nakon korekcije da se formira kontrolirani snop svjetlosti, a zatim se ovaj snop svjetlosti projektuje na sto za fotomasku, a zatim projicira kroz objektiv. ogledalo na stolu za ekspoziciju, i na kraju urezao kolo na silikonskoj pločici obloženoj fotorezistom.
Način na koji se dobija jedan od EUV UV sistema izvora svetlosti je bombardovanjem kalajne (Sn) metalne kapljice CO2 laserom snage 30 kW, isparavanjem u plazmu i konačno dobijanjem EUV svetlosti talasne dužine 13,5 nm.
Ovaj CO2 laser od 30 kW obezbeđuje TRUMPF, jedini te vrste u svetu.
Ne potcenjujte ovaj CO2 laser, ima 457.329 delova, dužina kabla u sistemu je do 7.322 metra, a težina 17.090 kg, što je jedna od najvažnijih komponenti jezgra u EUV litografiji.
Sada je TRUMPF otrčao u Kinu da izgradi tvornicu, namjera je jasna, odnosno optimističan u pogledu kineskog tržišta lasera, a još više dugoročno gleda, optimističan u pogledu kineskog tržišta litografije, budućnost može sarađivati s Kinom na izgradnji EUV litografije .
U stvari, već postoji više od jednog ASML lanca snabdevanja koji ide u Kinu da bi izgradio fabriku, pre nego što postoje KMWE i drugi proizvođači, takođe u Kinu da izgrade fabriku.
U skladu sa trenutnim trendom, možemo optimistično očekivati da neće proći mnogo vremena prije nego što će kineska tehnologija litografije biti veliki korak naprijed, pa čak i obim izlazne EUV litografije, također se može radovati, što mislite?
