Tokom proteklih pet godina, globalna proizvodnja poluprovodnika bila je gotovo sinonim za geopolitiku litografskih mašina. ASML-ovi EUV litografski sistemi postali su jedini pasoš za napredne procese: svaka kompanija koja teži da uđe u čvorove ispod 5nm mora proći kroz ovog mehaničkog giganta-mašinu koja košta preko 300 miliona dolara i koja se sastoji od 450.000 dijelova.
Od Apple-a do TSMC-a, Samsung-a do Intela, tempo inovacija cijele industrije indirektno je ograničen njenim proizvodnim kapacitetom i ritmom ponude...
Nedavno je tim profesora Kuang Cuifanga u Nacionalnoj ključnoj laboratoriji za ekstremnu optičku tehnologiju i instrumentaciju (Ekstremni institut za optičku tehnologiju i instrumentaciju) predstavio svoje dostignuće: "10.000-kanalni 3D nano laserski sistem direktnog pisanja litografije." Ovaj proboj pruža novu podršku za ispunjavanje industrijskih zahtjeva za visoko{5}}preciznom proizvodnjom velikih površina u mikro/nano obradi.
Stručni komitet za naučna i tehnološka dostignuća Kineskog optičkog društva jednoglasno je potvrdio: Ovaj projekat demonstrira značajnu inovaciju u arhitekturi sistema, algoritmima za kontrolu svjetlosnog polja i visoko{0}}strategijama obrade, sa ukupnim pokazateljima performansi koji dostižu međunarodno vodeće nivoe.
1. Inovacija · Pomjeranje granica od "single-preciznosti poteza" do "deset-hiljada- sinkronizacije poteza"
Tehnologija direktnog pisanja sa dva{0} fotona laserom, sa svojom visokom rezolucijom, niskim termičkim efektima, mogućnošću bez maske-i potencijalom 3D obrade, dugo je bila na čelu mikro/nano proizvodnje. Nalazi široku primjenu u proizvodnji čipova, biomedicini, optičkom skladištenju, mikrofluidici i preciznom sensingu.
Međutim, tradicionalno jedno{0}}kanalno lasersko direktno pisanje suočava se s ograničenjima brzine obrade, boreći se da ispuni industrijske zahtjeve za visoko{1}}preciznom proizvodnjom na velikim{2}}oblastima.
"Trenutno, komercijalna oprema širom svijeta još uvijek pretežno koristi lasere sa jednim snopom za -po-tačku štampanje 2D uzoraka ili 3D struktura na materijalima supstrata. Cilj nam je potaknuti transformativni napredak u cijelom polju i srodnim industrijama kroz naučne inovacije," objasnili su{{{1}Jisen} iz kompanije Op{ Jisen Technologi}, istraživač sa punim radnim vremenom Institut za optoelektroniku Univerziteta Zhejiang i Međunarodni centar za nauku i tehnologiju Hangzhou (STIC) "Naš-precizan,-uređaj je po prvi put postigao paralelno direktno pisanje sa desetinama hiljada laserskih tačaka, označavajući značajan tehnološki proboj.
Tim Kuang Cuifanga inovativno je predložio šemu kontrole svjetlosnog polja koja kombinuje digitalna mikroogledala sa nizovima mikrosočiva, omogućavajući generiranje preko 10.000 (137×77) neovisno kontroliranih laserskih žarišnih tačaka unutar sistema. Energija svake fokusne tačke može se fino podesiti na preko 169 nivoa, postižući pravu više{6}}kanalnu nezavisnu kontrolu. Uređaj radi pri brzini štampanja od 2,39×10⁸ voksela/s, sa brzinom i preciznošću obrade koja dostižu međunarodno vodeće nivoe.
Istovremeno, kako bi se pozabavio tehničkim izazovima kao što su neujednačen intenzitet svjetlosti i aberacije među više fokusnih tačaka, tim je razvio inteligentni globalni algoritam optimizacije. Ovo je poboljšalo ujednačenost intenziteta svetlosti fokusnog niza na preko 95% dok je efikasno ispravljalo izobličenje tačke, značajno poboljšavajući konzistentnost i preciznost obrade na više kanala.
Osim toga, istraživački tim je predložio više inovativnih strategija obrade. Ovo dostignuće nije samo "međunarodno vodeće" priznanje, već i remetilački tehnološki proboj. To znači da smo u mikroskopskom carstvu izrade preciznih struktura konačno prešli sa držanja jedne "igle za vez" na zapovijedanje erom "deset hiljada igala koje vezu unisono".
2. Liderstvo · Puni-lanac inovacija od Frontier Science do komercijalizacije
Veličina tehnologije ne leži samo u skaliranju naučnih visina već u premošćivanju jaza između laboratorija i industrijalizacije. Rođenje više-kanalnog 3D nano-laserskog direktnog-sistema za direktno{4}}upisivanje predstavlja primjer takve "end-do-inovacije," pružajući proizvodne alate koji su se nekada smatrali nezamislivim za brojne vrhunske-industrije.
12-vafer obrađen više-kanalnim 3D nano-laserskim sistemom direktnog pisanja
Zahvaljujući inovativnom pristupu i istraživanju tima, uređaj postiže preciznost obrade koja se približava ispod-30 nm, brzinu obrade od 42,7 mm²/min i maksimalnu veličinu pisanja koja pokriva 12-inčne silikonske pločice. Akademik Wu Hanming, glavni naučnik u Centru za inovacije u nauci i tehnologiji, primetio je: „Očekuje se da će ova tehnologija biti prvo primenjena u prilagođenim sektorima proizvoda sa velikom potražnjom i malim serijama i da će voditi budući razvojni pravac srodnih industrija."
U Centru za naučne-tehnološke inovacije, istraživački institut je uspostavio zajedničku laboratoriju sa Hangzhou Yuzhiquan Precision Instruments Co., Ltd. Ova saradnja se fokusira na rješavanje-najsavremenijih naučnih izazova u nacionalnoj tehnologiji litografije direktnog laserskog pisanja uz unaprjeđenje komercijalizacije visoko{4}}iD visoko{4}}naučnih industrijskih instrumenata za duboku integraciju R, foster.
Trenutno, institut je postigao preliminarne sporazume o transferu tehnologije sa više preduzeća u oblastima uključujući proizvodnju maski, optičku zaštitu od falsifikovanja-i AR/VR. Voditelj projekta Kuang Cuifang izjavio je da ova oprema...
